Lumas SOLID – масс-спектрометр, предназначенный для прямого анализа твердофазных материалов. Он позволяет проводить элементный и изотопный анализ образцов, в том числе профилирование по глубине (послойный анализ).

Lumas SOLID – универсальный прибор для решения задач современного материаловедения.

• Прямой анализ твердофазных образцов без растворения
• Монолитные и порошковые пробы
• Определение любых химических элементов (в т.ч. F, O, N, Cl, U, Th, РЗЭ)
• Одновременное определение микропримесей и основных компонентов
• Элементный и изотопный анализ
• Профилирование по глубине
• Низкие пределы обнаружения
• Отсутствие перегрева пробы

• Научные исследования
• Материаловедение
• Металлургия
• Геология
• Атомная промышленность
• Производство полупроводников, микроэлектроника
• Экология

Распыление и ионизация пробы происходят в плазме импульсного тлеющего разряда, затем ионы регистрируются в ортогональном времяпролетном масс-анализаторе. Основным механзмом ионизации атомов пробы является неселективная Пеннинговская ионизация метастабильными атомами разрядного газа (обычно Ar). В качестве разрядной ячейки используется комбинированный полый катод – вспомогательный цилиндрический катод из высокочистого металла (обычно Al или Ta) и прижимаемая к нему проба.

Такая конструкция позволяет анализировать плоские (монолитные или прессованные порошковые) пробы без каких-либо требований к их вакуумной плотности.
Отсутствует процедура растворения пробы.

• Контроль микропримесей в сверхчистых материалах (металлы, сплавы, полупроводники, оптические кристаллы)
• Анализ геологических объектов (руда, почва)
• Определение относительного содержания элементов (U/Th, РЗЭ)
• Изотопный анализ
• Послойный анализ
  • Контроль качества многослойных покрытий и тонких пленок
  • Контроль пространственного распределения примесей
  • Исследование процессов коррозии

• Гарантийное и послегарантийное обслуживание на всей территории РФ и стран ЕАЭС
• Проведение пусконаладочных работ и обучение оператора
• Консультационное сопровождение оборудования и методик
• Разработка и аттестация методик по специальному заказу
• Гарантия 1 год

 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Способ ионизации	Плазма импульсного тлеющего разряда
Разрядный газ	Аргон, расход менее 1 л/час
Масс-анализатор	Времяпролетный с бессеточным ионным зеркалом
Разрешающая способность	4000
Количество одновременно определяемых компонентов	Не ограничено
Массовый диапазон	1–1000 m/z
Пределы обнаружения	1–100 ppb
Послойное разрешение	До 5 нм
Глубина анализа	До 30 мкм
Время на один анализ твердого образца	30 минут (с опцией револьверной системы – 3-5 мин)
Вакуумная система	1 Форнасос и 2 ТМН (240 л/сек)
Габаритные размеры	1450×780×1550 мм